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中国真空学会真空获得与测量学术交流会

召开年：2001
召开地：广西北海
出版时间： 2001-05-01

主办单位：中国真空学会

会议文集：中国真空学会真空获得与测量学术交流会论文集

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1.SSRF高频屏蔽波纹管研制
- 蒋迪奎;姜晓丽;王志山;杜涵文
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：在预研期间，SSRF根据储存环的设计要求，研制了具有高频(Radio Frequency)屏蔽作用的波纹管组年样机。波纹管选用了伸缩率较大的不锈钢焊接纹管，屏蔽机构采用由弹簧指、接触指、内管构成的双指型结构。在样机加工完成后，对主要指标进行了测试，其中屏蔽机构的指间接触力、组件的超高真空性能和运动行程、热功率性能等方面均满足SSRF的要求，并已顺利通过国家上海同步辐射中心工程逝部组织的验收，得到了国外专家的好评。
2.VG-1 高灵敏真空控制仪的研制
- 吴春阳;康宁;孙旭
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文简要介绍了应用扩散硅压力传感器研制的VG-1高录敏真空控制仪。
3.磁流体密封技术的应用研究
- 李留臣;杨润;石建兴
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文主要介绍了磁流体密封技术在单晶炉上的具体应用，简要介绍了所用磁流体密封的结构及参数。
4.油扩散泵一级喷嘴几何尺寸对其最大抽速影响的理论分析
- 徐玉江
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文依据真空技术的基本方程式及分子流态下进气口截面具有的流导其数值等效于泵的抽速，着重从扩散泵第一级喷嘴高度变化来分析对抽速大小的影响。
5.大型空间模拟器的真空测量
- 茹晓勤;许忠旭;黄威;邵容平
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：大型空间模拟器是航天产品地面试验必不可少的试验设备，而真空测量系统是整个空间环境模拟器的重要组成部分，采用高度可靠和先进的真空测量系统，对保证整个系统能迅速地调整到正常的工作状态，长时间高可靠的运行，及时发现引起真空状态失常的原因，以便迅速排除故障都具有特别重要的意义。该文介绍了在中国最大的空间环境模拟器中应用的高精度、宽量程、自动化的真空测量系统，并对现用真空测量方法做了初步的分析。
6.趋利避害迎接入世刍仪入世(WTO)对真空设备行业的影响
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：简要介绍入世对中国国民经济发展的影响，论述了中国机电工业入世后的利弊得失，以重点产品为例，探讨真空设备行业入世后所面临的机遇与挑战。并结合行业实际提出若干应对入世的建议。
7.计算机技术在真空计量中应用
- 田东旭
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：国防科工委真空计量一级站开展真空计量的研究已有三十多年的历史，全压力、分压力和流量(漏率)的计量标准装置已经逐渐建立起来，分别用于校准真空计、质谱计、漏孔和流量计。目前，真空计量一级站正致力于极高真空、微流量、分压力的校准技术研究。计算机技术广泛地应用在上述研究领域，不但完成了非平衡态分子流理论的计算机数值模拟，而且在真空计量标准装置的研制中实现了自动控制、仪器仪表通讯、数据采集和处理等功能。该文介绍了相关的计算机技术及其在真空计量研究中取得的一些应用成果。
8.HT-7U磁体实验杜瓦真空抽气系统设计估算
- 李高云;辜学茂
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文叙述了HT-7U实验大杜瓦抽气系统的设计布局及其抽速估算。
9.上海同步辐射光源超高真空系统
- 蒋迪奎;殷立新;王志山;杜涵文;沈宝华;陈丽萍;姜晓丽;俞昶
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
10.增强器薄壁真空室的设计和加工
- 王志山;蒋迪奎;陈丽萍;黄须强;吕朝阳
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：增强器的弯转磁铁产生交变磁场，不锈钢真空室上产生的涡流会干扰主磁场。在保证其影响在允许范围内并有足够的刚度抵御大气压外，真空室结构要求简单，成本低，所需磁间隙最小。我们在设计中对真空室材料选择、结构方案的确定进行了仔细的考虑，通过必要的计算如涡流影响、真空室变形、真空室温升及压强分布，并考虑到加工的切实可行性(关键是椭圆管的拉制与弯曲)，我们预制了一套增强器标准单元真空室。验收指标说明设计合理，加工可行。
11.兰州重离子冷却储存环(HIRFL-CSR)超高真空系统首台样机的研制
- 杨晓天;张军辉;张新俊;吴慧敏;蒙峻;侯生军
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文概述了兰州重离子冷却储存环(HIRFL-CSR)真空系统首台样机的研制过程，介绍了各真空室结构；标准设备的测试与选型；实测抽空变形量及烘烤位移量；通过对极限真空度的测试，估算出极限真空下材料的表面出气率；根据公式估算出钛升华泵的有效抽速并通过实验结果进行对比；介绍了在真烘烤装置调研、设计方面所做的工作。该样机从设计、加工到安装、达标，历时10个月，达到3×10<,-9>Pa的设计指标。通过这台样机的研制，验证了HIRFL-CSR工程真空系统设计方案的可行性，摸索出一些满足超高真空要求的加工、焊接、表面处理工艺，为下一步的工作奠定了较好的基础。
12.真空检漏工业的回顾与展望
- 周小弟
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
13.10<'-10>Pa溅射离子泵的研制
- 仇华兴;唐景远;王金锁
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文主要介绍10<'-10>Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空和抽气速率的方法。
14.ZDB-800制冷机低温泵的研制
- 邹定忠;陈欣昔
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：KM3设备是一个容积为70m<'3>的大型空间模拟器。1993年将原来用油扩散泵作为主抽气泵的有油抽气系统改造成为用制冷机低温泵作主抽气泵的无油抽气系统，并将系统的极限真空由9.3×10<'7>Pa提高了5×10<'5>Pa。该文重点介绍了该设备所用的通径为800mm的制冷机低温泵的方案选择及主要性能计处方法，并给出了主要参娄的实测结果。
- 制冷机;
- 低温泵;
15.SSRF钛升华泵的研制
- 沈宝华;陈丽萍;姜晓丽;俞昶
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：正在设计中的上海同步辐射光源(SSRF)准备用钛升华泵作为主抽泵，大抽速钛升华泵作为预研项目之一。我们研制了一个增大钛吸收面的钛升华泵，其钛膜面积达4200cm<,2>，较普通相同尺寸的钛升华泵的钛吸收面要大约3倍。钛升华泵与离子泵配合，极限真空达到～7×10<'-12>torr。对CO的初始抽速达到10001/s以上，对H<,2>的初始抽速大于25001/s。我们还测试了该钛升华泵抽速随吸气量的增大而下降的曲线。用此钛升华泵来抽6米长的铝真空盒，极限真空达到了3.5×10<'-11>torr，而单独用离子泵抽到的极限真空为1.6×10<'10>torr。
16.油封真空泵抽除(水)蒸汽问题的解决
- 王伟平
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：随着科学技术突飞猛进，在很多应用领域油封真空泵已经不能胜任，被千式真空泵所替代。但在普通的工业领域中，如食品加工、电器制造、化工医药等行业，由于油封真空泵成本低、使用方便、维护费用低，仍是最适合的产品。然而当油封真空泵抽除水蒸气时，往往会产生一些总是。如真空泵润滑油发生乳化、变质、达不到所需的工作压力。甚至发生真空泵泵体、转子严重锈蚀，整机报废现象。之所以造成这种情况主要在于对油封真空泵抽除(水)蒸汽的原理不甚了解，疏于真空泵的维护保养。为此笔者在该文中论述了油封真空泵抽除水蒸汽的原理、方法。并根据实际使用经验，提出了真空泵在使用维护上的一些正确做法。
17.活塞式和螺杆式无油真空泵
- 徐成海;关奎之;王志坚
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文介绍活塞式和螺杆式无油真空泵的特点、特性和在众多干泵中的地位，分别讨论活塞式和蝶杆式无油真空泵的结构和工作原理，分析其在国内生产的可行性，希望能起到加速无油泵生产和推广应用的作用。
18.2X-70A旋片真空泵试验评价
- 何璧生
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文评介我厂2X-70A旋片真空泵的鉴定测试，改进试验和应用实例，供设计、生产、使用者参考。
19.大型清洁超高真空获得初探
- 张春元;许忠旭
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：随着航天器的发展，对航天器空间环境模拟的要求越来越高，要求真空获得系统必须是清洁真空系统。原来的有油系统以扩散泵为主，现在的清洁高真空系统以低温泵为主，因考虑到航天试验时氦、氢的影响，所以必须配备涡轮分子泵抽气。我所最大的真空容器容积3200m<'3>，由于系统庞大，所以带来了一定的特殊性。该文主要介绍了3200m<'3>清洁高真空系统的配置及使用情况探讨。
20.十千瓦磁性微波等离子镀膜设备的研制概况
- 张敬一;高秀敏;王刚昌;李晖;王青
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文简要介绍十一千瓦磁性微波镀膜机的研制概况，调试中的一些现象和基本结构，基本数据，也简谈美国专业厂家发状况和经营方式，从而暴露出我们落后不足之处和今后应努力的方向。
21.表面改性一体化设备的研制
- 李中岳;王平
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：根据航天设备对表面膜层的特殊要求，特对表面工程技术和设备进行了长期的、专门的研究，现已完成。文中提出了集金属离子注入、磁控溅射、电弧离子镀和真空系统等多功能为一体化的新型设备研究方案，解决了多功能一体化的设备关键技术，实现了多种功能集成为一体的新型设备。提出了多种工艺技术有机结合、综合使用的新型综合工艺研究方案，解决了综合工艺的关键技术，完成了综合使用的新型工艺，达到了表面改性和成膜的特殊要求。该文重点介绍设备的研制。
22.定容式气体微流量标准装置
- 田东旭;温昕晖;吕时良
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：虽然质量流量计已经在半导体工业中使用了二十多年，但是它们的一些性能仍然没有完全了解，例如气体修正因子、安装方向、压力和温度等对流量测量的影响。为了提高准确度、互换性和可靠性，质量流量计需要定期校准。兰州物理研究所建立了一台定容式气体微流量标准装置，用于校准质量流量计。定容法是校准质量流量计的有效方法，在这种方法中存在许多干扰因素，如：温度变化、气体吸附、系统漏放气等效应。研制的气体微流量标准装置充分考虑了这些因素的影响，将它们控制在合理的范围内。该标准装置的测量范围是1.7×10<'-3>～85 Pam<'3>/s(1- sccm～50 slm)，不确定度小于1.2℅。
23.非蒸发型吸气剂泵与离子泵组成的复合泵
- 沈宝华;陈丽萍;姜晓丽;蒋迪奎;俞昶
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：正在设计中的上海同步辐射光源(SSRF)储存环真空系统上除了用钛升华泵外，在某些区域也准备用非蒸发型吸气剂泵(NEGP)。我们研制了一台离子泵(SIP)+非蒸发型吸气剂泵(NEGP)的复合泵，在于2001/s离子泵的中间装上一个WP1250·St707的NEG组件。WP1250经过激活后，复合泵的极限真空提高到家6×10<,-12>torr，比单独的离子泵极限真空提高一个数量级。对H<,2>和CO的初始抽速分别提高了5001/s和平3301/s，特别是在10<,-10>torr范围内，NEGP较离子泵有更大的抽速。我们还测试了WP1250随吸气量的增大抽速下降的曲线。
24.SSRF光子吸收器的研制
- 蒋迪奎;陈丽萍;殷立新
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：在SSRF工程预研期间，研制了两种结构构光子吸收器样机。作为高热功率吸收器件，样机的设计考虑了吸收面形状、水冷结构、吸收体材料等等因素，并用有限元ANSYS程序对吸收面进行了热分析。经过多种特殊工艺制造完成后，在日本高能加速器研究机构PF光源对该吸收器进行了光电解吸测试。
25.一种提高扩散泵机组性能的有效方法
- 徐成海;郝璐;高亚杰;孙能运
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文介绍采用单机制冷压缩机组却扩散泵档板，通过实验证实，它是一种降低扩散泵返油率，提高极限真空度的有效方法。
26.微光成象器件研究中的极高真空设备
- 徐江涛
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：根据三代微光成象器件的研制和管子批量生产的需要，全面系统的介绍一种极高真空设备，国内设备开发成功，将可带来可观的经济和社会效益。
27.VG-1高灵敏真空控制仪的研制
- 吴春阳
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：该文简要介绍了应用扩散硅压力传感器研制的VG-1高录敏真空控制仪。
- 真空控制仪;
28.制冷机低温泵的故障原因及排除
- 任家生
- 《中国真空学会真空获得与测量学术交流会》 | 2001年
摘要：制冷机低温泵的冷源是小型制冷机。制冷机在日常运行中可能发生种种故障，对制冷机的制冷能力和制冷温度都有明显的影响，亦对泵的抽气特性产生影响。该文着重讨论制冷机在日常运行中可能发生的种种故障、原因及排除。
- 制冷机低温泵;
- 运行故障;