VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺

摘要

本发明提供的一种VR投显用晶圆级玻璃基片生产工艺，包括以下步骤：1)将原料晶块用开料设备掏圆；2)将整块玻璃切割成所需要的加工尺寸；3)切割好的玻璃利用研磨设备进行研磨，然后进行边缘倒角；4)玻璃装在清洗夹具上，再放入纯水清洗槽内，用超声波清洗设备清洁玻璃表面；5)对玻璃进行表面抛光；6)将玻璃加热接近软化的温度，用空气将其迅速冷却；步骤3)中研磨装置包括工作台、内齿圈、转轴、四个游轮、第一转动电机、上研磨盘、下研磨盘和第二转动电机；本发明使得研磨抛光粉液更加均匀分撒在研磨盘上，配合研磨盘的相对运动，其研磨抛光粉液的分布更均匀，使得研磨抛光粉液容易出现晶片研磨的更均匀，厚度控制更准确。