一种基于肖特基二极管的毫米波线性化方法

摘要

本发明涉及一种基于肖特基二极管的毫米波线性化方法，包括：制备GaN基微波功率器件，测试得到GaN基微波功率器件的输入阻抗；制备肖特基二极管，测试得到肖特基二极管的输出阻抗；将肖特基二极管的输出阻抗与GaN基微波功率器件的输入阻抗共轭匹配；将GaN基微波功率器件与肖特基二极管通过键合互连。本发明实施例，减小了器件空间面积，可以提升线性度补偿并增强可调性，在高频和宽带环境下都可以发挥最佳效应，进一步提高器件集成度和工作速度。