一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法

摘要

本发明公开了一种应用于引信的MEMS电磁能量疏导器件及其制备方法。本发明的MEMS电磁能量疏导器件包括绝缘衬底、电磁能量疏导质量块、多个环形驱动电极、电磁能量吸收层、多对电磁能量疏导导线、薄膜吸收层、多对电磁能量疏导引脚和封装壳体；本发明基于各类型弹药的引信系统，结合微机电系统工艺制备了电磁能量疏导器件，解决了传统引信电磁防护受到尺寸限制的问题，并通过电磁驱动，实现机构通断，完成电磁能量的疏导，提高了引信系统乃至整个弹药的安全性能。