用于银薄层的蚀刻剂组合物，使用其形成金属图案的方法和使用其制作阵列基板的方法

摘要

公开了用于蚀刻银(Ag)或银合金单层，或包括银或银合金单层和氧化铟层的多层的蚀刻剂组合物，使用其形成金属图案的方法，和使用其制备用于有机发光显示器(OLED)的阵列基板的方法。当蚀刻银或银合金单层，或包括银或银合金单层和氧化铟层的多层时，蚀刻剂组合物可表现出均匀蚀刻性能，并不伤害下数据线层或产生残渣，并能够阻止银被再吸附到金属线，因此减少缺陷率，从而实现具有高分辨度、大尺寸，和低耗电的有机发光显示器。