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用于银层的蚀刻溶液组合物、使用其制作金属图案的方法和制作显示基板的方法

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摘要

本公开涉及用于银层的蚀刻溶液组合物、以及使用其制作金属图案的方法和制作显示基板的方法，所述蚀刻溶液组合物包括：(a)磷酸(H3PO4)；(b)硝酸(HNO3)；(c)醋酸(CH3COOH)；(d)磷酸盐化合物；(e)钠基化合物；和(f)水。

著录项

  • 公开/公告号CN106504987B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东友精细化工有限公司;

    申请/专利号CN201610764965.7

  • 发明设计人 安基熏;沈庆辅;张晌勋;

    申请日2016-08-30

  • 分类号H01L21/3213(20060101);H01L27/12(20060101);

  • 代理机构11410 北京市中伦律师事务所;

  • 代理人石宝忠

  • 地址 韩国全罗北道

  • 入库时间 2022-08-23 11:56:20

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