法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
授权
授权
2019-04-09
著录事项变更 IPC(主分类):C23C16/455 变更前: 变更后: 申请日:20170421
著录事项变更
2019-04-09
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 16/455 变更前: 变更后: 申请日:20170421
著录事项变更
2018-11-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20170421
实质审查的生效
2018-11-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20170421
实质审查的生效
2018-11-27
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20170421
实质审查的生效
2018-11-02
公开
公开
2018-11-02
公开
公开
2018-11-02
公开
公开
2018-11-02
公开
公开
查看全部
机译: 用于内燃机的窜气的处理装置,具有加热单元,该加热单元设置在气体供应管线的过程中,在该气体供应管线中,在进入化学反应器之前,对气的吹气进行加热。
机译: 等离子体处理装置和用于等离子体处理装置的气体供应装置
机译: 气体供应系统,等离子体处理装置以及用于操作等离子体处理装置的方法