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MOCVD系统的气体流量自动控制研究

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摘要

研究了金属有机物化学气相沉积(MOCVD)系统中气体流量的自动控制方法.研究分析了基于质量流量控制器、可编程序控制器和触摸屏的自动控制系统气体流量自动控制方法.该方法提高了MOCVD系统的自动化控制水平,确保了工艺的重复性和稳定性,使得MOCVD系统气体流量控制水平有显著提高.

著录项

来源
《真空电子技术》 |2007年第1期|56-58|共3页
作者
王涛; 高爱华; 张伟;
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作者单位

西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032;

西安工业大学,光电工程学院,陕西,西安,710032;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类自动控制、自动控制系统;
关键词
金属有机物化学气相沉积; 质量流量控制器; 可编程序控制器; 触摸屏;

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