计算机自动控制的热壁低压 MOCVD 系统的建立及其应用

摘要

本文根据金属有机物化学气相沉积（ＭＯＣＶＤ）系统的原理和特点，建立了计算机自动控制的热壁低压ＭＯＣＶＤ系统。我们首次采用热壁低压ＭＯＣＶＤ方法在制备高质量薄膜的同时，制备出了纳米微粉。