MOCVD系统的建立及铁电材料动态热释电响应的研究

摘要

建立了一套低压热壁MOCVD铁电薄膜制备系统.该系统由输运系统、气动系统、加热系统、反应系统、排气系统以及电路控制等部分组成,包括两套低压热壁反应系统,三路气态输送系统和一路液态输送系统,可大大缩短铁电薄膜的研制周期并可根据需要制备多组元铁电薄膜.建立了热释电红外探测器动态响应测试系统,对该系统的一些主要参数进行了研究.研究了PZST反铁电陶瓷在不同温度和偏置电场下的动态热释电响应特性.测试和研究了PT铁电薄膜的电滞回线和动态热释电响应,并对铁电薄膜的归一化探测率D<'*>进行了计算.

目录

文摘

英文文摘

第一部分MOCVD系统的建立

第一章绪论

1.1铁电薄膜制备技术的发展概况

1.2 MOVCD技术特点及在铁电薄膜制备上的应用

1.3本部分研究工作的目的和内容

第二章低压热壁MOCVD系统的构成和方案制定

第三章低压热壁MOCVD系统的建立

3.1输运系统

3.2反应系统和加热系统

3.3排气系统

第二部分铁电材料动态热释电响应的研究

第四章热释电红外探测器

4.1红外技术与红外探测器

4.2热释电红外探测器

4.3本部分研究工作的目的和内容

第五章热释电红外探测器测试系统

5.1黑体辐射源

5.2红外探测器的特征参数

5.2.1响应率

5.2.2噪声电压

5.2.3噪声等效功率

5.2.4探测率

5.2.5归一化探测率

5.3热释电红外探测器性能测试中的一些主要参数

5.3.1测试系统

5.3.2归一化探测率的计算

5.3.3能量均方根转换系数

5.3.4噪声电压

5.3.5噪声等效带宽

5.4小结

第六章PZST反铁电陶瓷的动态热释电响应

6.1 PZST反铁电陶瓷

6.1.1反铁电体

6.1.2 PZST反铁电陶瓷

6.1.3反铁电陶瓷的静态热释电响应特性

6.2 PZST反铁电陶瓷的动态热释电响应

6.2.1实验过程

6.2.2动态热释电响应的测试和分析

6.2.3偏置电场对动态热释电响应的影响

6.3 PZST反铁电陶瓷中的可逆与非可逆热释电效应

6.4小结

第七章铁电薄膜的动态热释电响应

7.1铁电薄膜的电滞回线

7.2铁电薄膜的动态热释电响应

7.3铁电薄膜的归一化探测率

7.4小结

第八章全文主要结论及建议

致谢

参考文献

博士后工作期间所取得的主要成果

个人简历