公开/公告号CN202359196U
专利类型实用新型
公开/公告日2012-08-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中微半导体设备(上海)有限公司;
申请/专利号CN201120368151.4
发明设计人 魏强;
申请日2011-09-29
分类号
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人吴世华
地址 201201 上海市浦东新区泰华路188号
入库时间 2022-08-21 23:32:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-09
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C16/455 变更前: 变更后: 申请日:20110929
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-08-01
授权
授权
机译: 用于热力发动机的气体流量控制装置由位于公共腔室下方的单个阀组成,进气管和排气管均连接至该公共腔室,并由风门阀隔开。
机译: 用于气体产生系统的反应器用于在车辆中产生用于燃料电池的含氢气体,该反应器具有用于吸热反应的腔室,该腔室设置在用于放热反应的腔室之间。
机译: 用于分析仪校准应用的气体流量控制装置,具有以密封的方式固定在气体容器上的主体,以通过制动组件和构成高压关闭阀的气溶胶阀形成保持恒定压力的腔室