一种精密气体流量自动控制系统

摘要

本发明涉及一种精密气体流量自动控制系统，包括气源、控制模块、舵机、齿轮组和与所述气源连通的管道，所述管道上自气源始依次设置有手动控制阀、自动控制阀以及旋进旋涡流量计，所述旋进旋涡流量计的信号端与所述控制模块连接，所述控制模块的输出端通过所述舵机与所述齿轮组连接，所述齿轮组的输出轴与所述自动控制阀连接。本发明提供的一种精密气体流量自动控制系统，其结构简单、成本低廉且控制精度高，以适用于小流量气体的测量与控制。