一种基于透射电镜表面成像的样品厚度原位测量方法

摘要

本发明提供一种基于透射电镜表面成像的样品厚度原位测量方法，该测量方法通过调节透射电镜的物镜焦距来调控物镜取景深度和高精度操纵样品移动来准确调控样品与物镜的距离，利用物镜有限的取景深度和样品表面区域处于物镜取景位置来强化样品表面结构信息的同时弱化样品内部结构信息，分别对样品的上、下表面进行成像，并利用上、下表面成像时样品移动的距离获得样品的厚度，实现对样品厚度的原位测量，从而有效评价材料或器件的性能。本发明在对样品厚度进行原位测量时不受样品结构、厚度和成分限制，具体实施简便、效率高、成本低、可操控性和重复性强、技术可靠性高等特点，适合于固体表面研究领域的广泛应用。