图案曝光装置、曝光头以及图案曝光方法

摘要

本发明提供一种适合地进行图案光的对焦的技术。图案曝光装置(10)包括：曝光头(82)，其用于向基板W的感光材料面输出图案光；测量器(84)，其用于测量基板W的位置；以及聚焦控制部(902)，其根据基板W的感光材料面的位置，对图案光的成像位置进行调节。曝光头(82)具有透镜移动部(828)，其用于使第一成像光学系统(822)的第二透镜(12L)和微透镜阵列(824)在接近或远离第一透镜(10L)的方向上进行移动。