公开/公告号CN106462080B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-13
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201580030265.9
申请日2015-04-24
分类号
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 10:52:25
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-13
授权
授权
2017-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20150424
实质审查的生效
2017-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20150424
实质审查的生效
2017-02-22
公开
公开
2017-02-22
公开
公开
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