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基于螺旋波等离子体技术制备氮掺杂类金刚石薄膜的方法

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摘要

本发明涉及一种基于螺旋波等离子体技术制备氮掺杂类金刚石薄膜的方法，包括以下步骤：（1）清洗Si衬底，将清洗后的Si衬底固定在沉积室内的基片台上；（2）将高纯Ar气体从放电室的左端通入到放电室内，实现螺旋波等离子体放电，形成Ar等离子体；（3）向沉积室内通入高纯CH

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1. 基于螺旋波等离子体技术制备氮掺杂类金刚石薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN108085657B . 2020.03.17
2. 基于螺旋波等离子体技术制备氮掺杂类金刚石薄膜的方法 [P] . 中国专利： CN108085657A . 2018-05-29
3. The present invention relates to a method of manufacturing a diamond-like diamond thin film doped with nitrogen, a diamond-like diamond thin film and a field emission display device having the same [P] . 韩国专利： KR19980065588A . 1998-10-15

机译：本发明涉及一种掺杂有氮的类金刚石薄膜的制造方法，类金刚石薄膜和具有该类薄膜的场发射显示装置
4. METHOD OF PRODUCING REDUCED AND NITROGEN-DOPED GRAPHENE OXIDE AND REDUCED AND NITROGEN-DOPED GRAPHENE OXIDE PRODUCED THEREBY [P] . 韩国专利： KR20160127252A . 2016-11-03

机译：还原和掺杂氮的氧化石墨烯的制备方法及由此制备的还原和掺杂氮的氧化石墨烯的方法
5. METHOD FOR MANUFACTURING A NITROGEN DOPING GRAPHENE ELECTRODE FOR A CAPACITOR, AN ELECTRODE, AND AN ELECTRIC DOUBLE LAYER CAPACITOR USING THE SAME CAPABLE OF DOPING NITROGEN INTO GRAPHENE USING PLASMA [P] . 韩国专利： KR20130034182A . 2013-04-05

机译：用等离子体将氮掺杂到石墨烯中的能力相同的制造用于电容器的氮掺杂石墨烯电极，电极和双电层电容器的方法