公开/公告号CN107221599B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201710376114.X
申请日2017-05-25
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人房德权
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 10:52:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
授权
授权
2017-10-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20170525
实质审查的生效
2017-10-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 45/00 申请日:20170525
实质审查的生效
2017-09-29
公开
公开
2017-09-29
公开
公开
2017-09-29
公开
公开
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