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低压线离子等离子体放电源以及具有二次发射的电子源的应用

摘要

本发明涉及一种低压线离子等离子体放电源,其包括细长的电离室(1),所述电离室(1)容纳在电离室内纵向延伸的至少两个平行的阳极线(2,3)。根据本发明,所述至少两个阳极线中的第一(2)阳极线连接到DC电压源(4),并且所述至少两个阳极线中的第二(3)阳极线连接到脉冲电压源(5)。

著录项

  • 公开/公告号CN108701574B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-03-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 欧洲激光系统和解决方案公司;

    申请/专利号CN201780007089.6

  • 发明设计人 P·切卡托;H·贝斯奥塞勒;

    申请日2017-01-12

  • 分类号H01J35/04(20060101);

  • 代理机构11247 北京市中咨律师事务所;

  • 代理人王英杰;杨晓光

  • 地址 法国热讷维耶

  • 入库时间 2022-08-23 10:51:45

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-03-06

    授权

    授权

  • 2018-11-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J35/04 申请日:20170112

    实质审查的生效

  • 2018-11-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 35/04 申请日:20170112

    实质审查的生效

  • 2018-10-23

    公开

    公开

  • 2018-10-23

    公开

    公开

  • 2018-10-23

    公开

    公开

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