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用于用多个金属层填充高纵横比的窄结构的技术以及相关联的配置

摘要

本公开内容的实施例描述了一种用于用多个金属层来填充高纵横比的窄结构的技术以及相关联的配置。在一个实施例中,一种装置包括:包括半导体材料的晶体管结构;具有被限定在晶体管结构上方的凹陷部的电介质材料,凹陷部在第一方向上具有高度;被设置在凹陷部中并与晶体管结构耦合电极端子,其中,电极端子的第一部分包括与晶体管结构直接接触的第一金属,并且电极端子的第二部分包括设置在第一部分上的第二金属,并且其中,第一部分与第二部分之间的界面是平面的并且在第二方向上延伸跨过凹陷部,第二方向实质上垂直于第一方向。可以描述和/或请求保护其它实施例。

著录项

  • 公开/公告号CN106663667B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-02-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 英特尔公司;

    申请/专利号CN201480080911.8

  • 发明设计人 J·M·施泰格瓦尔德;N·林德特;

    申请日2014-08-29

  • 分类号

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人陈松涛

  • 地址 美国加利福尼亚

  • 入库时间 2022-08-23 10:49:52

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-02-14

    授权

    授权

  • 2017-09-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/48 申请日:20140829

    实质审查的生效

  • 2017-09-26

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/48 申请日:20140829

    实质审查的生效

  • 2017-05-10

    公开

    公开

  • 2017-05-10

    公开

    公开

  • 2017-05-10

    公开

    公开

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