公开/公告号CN106663667B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-02-14
原文格式PDF
申请/专利权人 英特尔公司;
申请/专利号CN201480080911.8
发明设计人 J·M·施泰格瓦尔德;N·林德特;
申请日2014-08-29
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人陈松涛
地址 美国加利福尼亚
入库时间 2022-08-23 10:49:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-02-14
授权
授权
2017-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L23/48 申请日:20140829
实质审查的生效
2017-09-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/48 申请日:20140829
实质审查的生效
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
2017-05-10
公开
公开
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机译: 用于填充高纵横比的技术,具有多个金属层和相关配置的窄结构
机译: 填充具有多个金属层和相关配置的高纵横比,窄结构的技术
机译: 填充具有多个金属层和相关配置的高纵横比窄结构的技术