四极杆滤质器以及四极杆质谱分析装置

摘要

本发明中，配置在主电极部(31)之前的前置电极部(32)为两级构成，对前级前置电极部(32A)及后级前置电极部(32B)施加与施加至主电极部(31)的杆电极的高频电压同频率、且振幅随着去往前方而阶段性地减小的高频电压。该高频电压的振幅越小，离子的接收度越大，因此，通过酌情调整振幅，能够改善入射的离子束的发射度与接收度的匹配。离子入射至前置电极部(32)时的透过率以及离子从前置电极部(32)入射至主电极部(31)时的透过率对四极杆滤质器(3)整体的离子透过率的影响要高于前置电极部(32)内的透过率。因此，通过改善这些透过率，能够提高四极杆滤质器(3)整体的离子透过率。