一种高纯氮化硅粉末的制备方法

摘要

本发明提供了一种高纯氮化硅粉末的制备方法，包括如下步骤：将水溶性淀粉分散于水中，并加热至80℃，糊化45min得糊化物，然后将糊化物冷却至50℃，向糊化物中加入二氧化硅粉末和烧结助剂，搅拌至混合均匀，再经过滤、干燥、过筛即得前驱体，所述烧结助剂为纳米氮化硅；将所得前驱体放入烧结炉中，排除炉内空气，并通入氨气/氢气混合气作为反应气氛，烧结温度为1350~1450℃，烧结时间为5h，得到烧结产物；将所得烧结产物置于脱碳炉中，于700℃空气氛围下保温2h，即得到高纯氮化硅粉末。本发明方法在低温常压下即可制备得到高纯氮化硅粉末，所得氮化硅粉末纯度高，氮含量≥39.29%，氧含量≤0.71%，粒径尺寸均匀，K值为0.5~0.98。