一种基于开尔文探针力显微镜的表面电势测量方法

摘要

本发明属于材料测试技术领域，具体涉及了一种基于开尔文探针力显微镜的表面电势测量方法。利用开尔文探针力显微镜测量得到的针尖一倍频振幅、二倍频振幅与针尖上施加的直流偏压的关系曲线，确定开尔文探针力显微镜测量表面电势时针尖与样品的距离，最终以此针尖与样品的距离实现对样品表面电势的准确测量。