ヘテロダイン方式周波数変調ケルビンプローブ力顕微鏡によるバンド曲がりの影響を除いた表面電位測定

摘要

ケルビンプローブ力顕微鏡（KPFM）は静電気力測定に基づいて、試料の表面電位を高分解能に測定することができる。しかしこの表面電位は、探針と試料の接触電位差（CPD）だけでなく、表面準位によるバンド曲がりや表面電荷による電位の影響を受けるので、異なる起源による電位を区別できないという問題がある。そこで本研究では、高周波数の交流電圧を印加することで、表面準位によるバンド曲がりの影響を除いた表面電位測定の開発に取り組hだ（heterodyne FM-KPFM）。