入口阀和具有这种入口阀的真空泵

摘要

本发明涉及一种用于调节真空泵(11)的入口通道处的压力的入口阀，包括：‑第一腔室(1)，其由壳体(3)限定，壳体具有连接到流体的第一供应源的至少一个入口通道(4)，第一腔室(1)包括限定两个彼此流体密封的腔体(1a和1b)的可移动元件(5)和用于在可移动元件(5)上施加力的装置；‑第二腔室(2)，其通过壁(7)与第一腔室(1)分离并由壳体(3)限定，第二腔室(2)与流体的第二供应源的工艺通道(8)直接连通；阀体(9)，其以防止第二腔室(2)和第一腔室的第二腔体(1b)之间的流体流动的方式可滑动地安装在壁(7)中，阀体(9)具有远端(9a)和近端(9b)，远端延伸到第一腔室(1)的第一腔体(1a)中，阀体可在近端(9b)被推靠在密封凸缘(10)上的初始关闭状态和流体从工艺通道流到真空泵的入口通道(11)的第二打开状态之间移动，其特征在于‑阀体(12)包括延伸穿过该阀体(12)的流体通道(18)，以允许第一腔体(6a)和真空元件(1)的入口通道(14)之间的流体流动。