一种硅掺杂氮化硼/石墨烯的PN结型紫外探测器制备方法

摘要

本发明公开了硅掺杂氮化硼与石墨烯构建PN结的紫外探测器及制备方法，包括硅掺杂氮化硼纳米颗粒层和石墨烯层，所述硅掺杂氮化硼纳米颗粒层作为紫外吸收层，所述硅掺杂氮化硼纳米颗粒层和石墨烯层之间形成异质结，硅掺杂氮化硼纳米颗粒层中的硅掺杂氮化硼是氮化硼掺杂硅单质形成的n型半导体氮化硼材料。本发明对氮化硼材料进行硅掺杂，形成n型半导体氮化硼材料，结合石墨烯本征p型的特质，形成PN结型紫外探测器。该结构设计简单，能够充分发挥氮化硼材料的本征紫外吸收特点，另一方面利用石墨烯极高的载流子迁移率，两者结合可以有效提高器件速度。