公开/公告号CN106783654B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-13
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳市宏旺微电子有限公司;
申请/专利号CN201611064901.2
发明设计人 左瑜;
申请日2016-11-28
分类号H01L21/66(20060101);G01R31/26(20140101);
代理机构11724 北京成实知识产权代理有限公司;
代理人陈永虔
地址 518000 广东省深圳市南山区沙河街道华侨城创意文化园开平街2号G2栋2楼
入库时间 2022-08-23 10:45:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-13
授权
授权
2019-12-06
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20191118 变更前: 变更后: 申请日:20161128
专利申请权、专利权的转移
2019-12-06
专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20191118 变更前: 变更后: 申请日:20161128
专利申请权、专利权的转移
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20161128
实质审查的生效
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20161128
实质审查的生效
2017-06-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20161128
实质审查的生效
2017-05-31
公开
公开
2017-05-31
公开
公开
2017-05-31
公开
公开
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