具有不同厚度过渡金属二硫属化物层的装置和制造方法

摘要

本发明是关于具有不同厚度过渡金属二硫属化物层的装置和制造方法。根据本发明的一实施例为一种结构，其包含：在衬底的第一区中的第一有源装置，所述第一有源装置包含二维(2‑D)材料的第一层，所述第一层具有第一厚度；和在所述衬底的第二区中的第二有源装置，所述第二有源装置包含所述2‑D材料的第二层，所述第二层具有第二厚度，所述2‑D材料包含过渡金属二硫属化物TMD，所述第二厚度与所述第一厚度不同。