公开/公告号CN105463408B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201510642077.3
发明设计人 钱俊;弗兰克·L·帕斯夸里;阿德里安·拉沃伊;克洛伊·巴尔达赛罗尼;康胡;尚卡尔·斯瓦米纳坦;普鲁肖塔姆·库马尔;弗兰岑·保罗;特伦格·T·勒;阮途安;詹尼弗·L·彼得拉利亚;大卫·查尔斯·史密斯;塞沙萨绮·瓦拉达拉简;
申请日2015-09-30
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人樊英如
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 10:43:13
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
授权
授权
2016-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/455 申请日:20150930
实质审查的生效
2016-05-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20150930
实质审查的生效
2016-04-06
公开
公开
2016-04-06
公开
公开
机译: 等离子体辅助原子层沉积中射频补偿的方法和装置
机译: 等离子体辅助原子层沉积中射频补偿的方法和装置
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