公开/公告号SG10201507987RA
专利类型
公开/公告日2016-04-28
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号SG10201507987R
发明设计人 QIAN JUN;PASQUALE FRANK L.;LAVOIE ADRIEN;BALDASSERONI CHLOE;KANG HU;SWAMINATHAN SHANKAR;KUMAR PURUSHOTTAM;FRANZEN PAUL;LE TRUNG T.;NGUYEN TUAN;L. PETRAGLIA JENNIFER;SMITH DAVID CHARLES;VARADARAJAN SESHASAYEE;
申请日2015-09-25
分类号
国家 SG
入库时间 2022-08-21 14:22:50