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【2h】

Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of High-Density Ni Nanoparticles for Amorphous In-Ga-Zn-O Thin Film Transistor Memory

机译：高密度Ni纳米粒子的等离子体辅助原子层沉积，用于非晶In-Ga-Zn-O薄膜晶体管存储

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Shi-Bing Qian; Yong-Ping Wang; Yan Shao; Wen-Jun Liu; Shi-Jin Ding;
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年度 2017
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