公开/公告号CN107731671B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN201710733222.8
申请日2017-08-24
分类号H01L21/225(20060101);H01L27/11568(20170101);H01L27/11578(20170101);
代理机构11619 北京辰权知识产权代理有限公司;
代理人董李欣
地址 430074湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
入库时间 2022-08-23 10:43:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-12
授权
授权
2018-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/225 申请日:20170824
实质审查的生效
2018-03-20
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/225 申请日:20170824
实质审查的生效
2018-02-23
公开
公开
2018-02-23
公开
公开
2018-02-23
公开
公开
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