2种除三氯氢硅中硼、磷工艺的比较

摘要

介绍2种除三氯氢硅中硼、磷的方法,比较2种工艺的实际运行效果,树脂吸附法具有工艺流程短,操作简单,除硼、磷效果稳定等优势.