法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-05
授权
授权
2017-12-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/32 申请日:20170530
实质审查的生效
2017-12-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/32 申请日:20170530
实质审查的生效
2017-11-10
公开
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2017-11-10
公开
公开
2017-11-10
公开
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机译: MEMS扫描镜具有沟槽状表面和工字梁形横截面,可减少惯性和变形
机译: MEMS扫描镜具有沟槽状表面和工字梁形横截面,可减少惯性和变形
机译: 一种将负载单元放置在可变形基板上的方法,在负载单元和下面的可变形基板之间的支撑装置以及用于将负载单元支撑在可变形基板上的轴承单元。