提高集成电路可靠性的方法

摘要

本发明提供一种提高集成电路可靠性的方法，在晶片的导电插塞化学机械抛光的板刷擦洗步骤完成之后，增加一道对所述晶片表面进行冲洗的工艺，可以有效去除残留在晶片表面残留的可溶性钨盐，避免晶片表面干燥后水印，从而避免制得的集成电路漏电或者可靠性失效的问题。