法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-25
授权
授权
2018-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J37/32 申请日:20160328
实质审查的生效
2018-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20160328
实质审查的生效
2017-12-12
公开
公开
2017-12-12
公开
公开
2017-12-12
公开
公开
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机译: 确定腔室清洁终点的原位蚀刻速率
机译: 确定腔室清洁终点的原位蚀刻速率
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