法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-10-22
授权
授权
2017-12-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/27 申请日:20170731
实质审查的生效
2017-12-22
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20170731
实质审查的生效
2017-11-28
公开
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2017-11-28
公开
公开
2017-11-28
公开
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机译: 一种在基板上共沉积爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的方法以及包括爆轰纳米金刚石和类金刚石碳的复合膜
机译: 纳米晶金刚石膜,其制造方法以及使用该纳米晶金刚石膜的装置
机译: 纳米晶体金刚石膜的制造方法以及使用该纳米晶体金刚石膜的装置