一种阴极真空弧等离子体磁过滤装置及其应用

摘要

本发明公开了一种阴极真空弧等离子体磁过滤装置，包括阳极筒(2)，阳极筒(2)上依次设置有第一强脉冲线包(201)和抑制线包(202)。该阴极真空弧等离子体磁过滤装置弧斑运动速度高，能明显减少因局部温升造成的大颗粒的喷射；沉积速率为现有技术条件下沉积速度的1‑3倍；由传统磁过滤技术的高斯分布变成在束斑直径范围内的均匀分布，厚度差小于10％，可大幅提高膜层的均匀性；在磁场配合下，源靶材尺寸为100mm时，等离子体的束斑可以实现300mm以上尺寸工件镀膜。