具有电容联接源电极的压力转换器

摘要

根据本发明的实施例的电容压力转换器(100)的耦合基底(120、220)上的两个电极与隔膜电极(241)，以形成转换电路而无需电极之间的物理连接。本发明的实施例具有基底(120、220)和附连的隔膜(110、220)，所述基底具有耦合电极(221)和传感电极，所述隔膜具有隔膜电极(241)。位于基底和隔膜(110、220)之间的间隔器(130、230)提供限定传感电极和隔膜电极(241)之间的间隙的腔。介电间隔器(130、230)可以位于耦合电极(221)之上以增加耦合电极(221)和隔膜电极(241)之间的电容。电容压力转换器(100)具有与现存的电容压力转换器相似的电学特性，更容易制造，并且具有通过消除机械互连和额外的导电材料带来的长期可靠性和耐久性提高。