公开/公告号CN107112228B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-09-17
原文格式PDF
申请/专利权人 古河电气工业株式会社;
申请/专利号CN201680005088.3
发明设计人 荒桥知未;
申请日2016-02-29
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人庞东成
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 10:40:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-09-17
授权
授权
2017-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20160229
实质审查的生效
2017-09-22
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20160229
实质审查的生效
2017-08-29
公开
公开
2017-08-29
公开
公开
2017-08-29
公开
公开
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