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半导体晶片表面保护用胶带和半导体晶片的加工方法

摘要

一种半导体晶片表面保护用胶带和使用了该胶带的半导体晶片的加工方法,所述半导体晶片表面保护用胶带在基材膜上具有粘合剂层,其中,在23℃对不锈钢的粘合力为0.3N/25mm~10N/25mm,加热至50℃时的粘合力为23℃时的粘合力的40%以下,并且纯水刚滴落在上述粘合剂层表面后的接触角为100°以上,纯水自滴落起10分钟后的接触角为65°以上。

著录项

  • 公开/公告号CN107112228B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 古河电气工业株式会社;

    申请/专利号CN201680005088.3

  • 发明设计人 荒桥知未;

    申请日2016-02-29

  • 分类号

  • 代理机构北京三友知识产权代理有限公司;

  • 代理人庞东成

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2022-08-23 10:40:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-09-17

    授权

    授权

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20160229

    实质审查的生效

  • 2017-09-22

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20160229

    实质审查的生效

  • 2017-08-29

    公开

    公开

  • 2017-08-29

    公开

    公开

  • 2017-08-29

    公开

    公开

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