法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-30
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N21/95 申请日:20161102
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/95 申请日:20161102
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
机译: 划片机的划片装置及划片方法
机译: 惰性气体吹扫方法和设备,曝光设备,划片机,划片检查装置,划片箱和设备制造方法
机译: 惰性气体吹扫方法和设备,曝光设备,划片机,划片检查装置,划片箱和设备制造方法