柔性压阻式触觉传感器阵列及其制备方法

摘要

本发明提供一种柔性压阻式触觉传感器阵列及其制备方法，所述传感器阵列包括N*N个相互分离的压阻层和共面电极层，压阻层设置在共面电极层上；每个压阻层包括上层指压层、中层敏感层和底层敏感层，三层均带有微金字塔；共面电极层包括聚合物电极基底和位于聚合物电极基底上的N*N个金电极对。本发明压阻层采用带有微金字塔的聚合物薄膜，三层结构使得传感器能够在低压区域的灵敏度大大增加。另外，为了避免传统触觉传感器的三明治结构串扰大的缺点，采用共面电极层，所有电极处于同一平面，每一个电极对上都贴和相应的压阻层，每个压阻单元完全分开，有效提高传感器的灵敏度以及抗干扰的能力。