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结型栅场效应晶体管(JFET)、半导体器件及其制造方法

摘要

一种结型栅场效应晶体管(JFET)包括:衬底;源极区,形成在衬底中;漏极区,形成在衬底中;沟道区,形成在衬底中;以及至少一个栅极区,形成在衬底中。沟道区将源极区与漏极区连接。至少一个栅极区在界面处接触源极区和漏极区中的一个,并且至少一个栅极区与源极区和漏极区中的另一个隔离。介电层覆盖界面,同时暴露源极区和漏极区中的一个的一部分以及栅极区的一部分。本发明还提供了半导体器件及其制造方法。

著录项

  • 公开/公告号CN105280718B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-08-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;

    申请/专利号CN201510381482.4

  • 发明设计人 陈家忠;黄崎峰;梁其翔;

    申请日2015-07-02

  • 分类号

  • 代理机构北京德恒律治知识产权代理有限公司;

  • 代理人章社杲

  • 地址 中国台湾新竹

  • 入库时间 2022-08-23 10:38:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-08-16

    授权

    授权

  • 2016-02-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L29/808 申请日:20150702

    实质审查的生效

  • 2016-02-24

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/808 申请日:20150702

    实质审查的生效

  • 2016-01-27

    公开

    公开

  • 2016-01-27

    公开

    公开

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