有机半导体薄膜晶体管及其制造方法以及显示装置与背板

摘要

本发明涉及一种有机半导体薄膜晶体管及其制造方法以及具有该有机半导体薄膜晶体管的显示装置与背板。有机半导体薄膜晶体管包括源极、漏极和栅极，源极和漏极上设置有沟道层，沟道层中形成有使源极和漏极至少部分露出的沟道，沟道中填充有有机半导体层，有机半导体层与源极和漏极连接，有机半导体层上形成有图案。由于沟道的深度和延伸方向在制程过程中容易控制为具有较好的一致性，因此采用该种结构的有机半导体薄膜晶体管的不同元件中，其有机半导体层的厚度会更加均匀，而且有机半导体材料也更容易顺着沟道的方向排列，也即有机半导体材料的排列方向的一致性也更好，因此使得不同元件中的有机半导体薄膜晶体管具有较为均一的特性。