ZrNbC/ZrNbCN叠层涂层刀具及其制备工艺

摘要

本发明属于机械制造切削刀具领域，特别是涉及一种ZrNbC/ZrNbCN叠层涂层刀具及其制备工艺，本发明采用非平衡磁控溅射+中频磁控溅射的复合镀膜方法，直接采用非平衡磁控溅射ZrNbC复合靶为碳源，且沉积温度控制在300℃以下，可在更为广泛的刀具或工具基体上制备，所制备的ZrNbC/ZrNbCN叠层涂层刀具综合了ZrNbC碳化物涂层、ZrNbCN碳氮化合物涂层及叠层结构的优点，具有很高的硬度和韧性，良好的减摩润滑及耐摩擦磨损性能，优异的化学稳定性和抗剥离性，能够显著提高涂层刀具的切削性能，可减小干切削过程中刀‑屑之间的摩擦和粘结。所制备的ZrNbC/ZrNbCN叠层涂层刀具可广泛应用于大多数淬硬钢，不锈钢，铸铁，非铁金属和高温合金的连续或断续切削加工。