等离子生成装置及热电子放出部

摘要

本发明提供一种提高装置寿命及等离子生成效率的等离子生成装置。等离子生成装置具备：电弧室(12)，内部具有生成等离子的等离子生成区域；磁场发生器(16)，向等离子生成区域施加磁场(B)；以及阴极(30)，在沿着施加到等离子生成区域的磁场(B)的施加方向的轴向上延伸，且在其前端设置有放出热电子的阴极罩。阴极罩具有朝向电弧室(12)的内部在轴向上突出，且随着朝向电弧室(12)的内部，与轴向正交的径向宽度变小的形状。