一种钛钌共掺二氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法

摘要

一种钛钌共掺二氧化钒热敏薄膜材料及其制备方法，可用于非制冷红外探测器和电子薄膜技术领域。其中，二氧化钒热敏薄膜材料以钛和钌作为掺杂剂制备，包括基片层和钛钌共掺二氧化钒薄膜层；钛钌共掺二氧化钒薄膜层中，钛、钌和钒的原子百分比分别为4.0‑7.0％、0.5‑1.5％、25.0‑30.0％，其余为氧元素。本发明还提供以钛钌钒合金靶为源材料采用反应溅射方法，或以钛靶、钌靶和钒靶为溅射源采用共反应溅射方法制备二氧化钒热敏薄膜材料的方法。本发明制得的二氧化钒薄膜为单斜多晶结构，呈现无相变特征，具有较低室温电阻率，并具有比未掺杂二氧化钒和常用VO_X热敏薄膜更高的电阻温度系数；其制备工艺易于通过现有溅射设备或对现有设备适当改进后实现，且与器件MEMS工艺兼容。