一种超细Au粒子修饰的ZnO基乙炔传感器及制备方法

摘要

一种超细Au粒子修饰的ZnO基乙炔传感器及制备方法，属于气体传感器技术领域。由Al₂O₃衬底、Pd叉指电极、涂覆在Al₂O₃衬底和Pd电极上的超细Au纳米粒子修饰的球形多片层ZnO纳米材料敏感层组成。Au粒子的粒径为0.5～3nm，通过溶剂热反应生成的、由多孔ZnO构成的球形多片层材料的粒径为2～4μm，ZnO片层厚度为20～50nm，超细Au粒子生长在ZnO片层之上。本发明制备方法具有工艺简单、成本低、响应恢复快、便于大规模生产的特点，对乙炔具有优良的检测性能。