公开/公告号CN106243357B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-23
原文格式PDF
申请/专利权人 罗门哈斯电子材料有限责任公司;
申请/专利号CN201610389823.7
申请日2016-06-02
分类号C08G77/14(20060101);C08G77/18(20060101);C08G77/26(20060101);C08G77/28(20060101);G03F7/20(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈哲锋;胡嘉倩
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 10:37:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-23
授权
授权
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C08G77/14 申请日:20160602
实质审查的生效
2017-01-18
实质审查的生效 IPC(主分类):C08G 77/14 申请日:20160602
实质审查的生效
2016-12-21
公开
公开
2016-12-21
公开
公开
机译： --可湿剥离的含硅抗反射剂
机译： 可湿剥离的含硅抗反射剂
机译： 可湿剥离的含硅抗反射剂
