小比导通电阻的集成化大电流功率器件结构的设计方法

摘要

本发明涉及一种小比导通电阻的集成化大电流功率器件结构的设计方法。包括对所述器件的电流处理元胞进行耐压设计，确定原始元胞的元胞尺寸、元胞间距和终端结构；将原始元胞转换成环形元胞；确定器件埋层和有源层单位长度电阻值；进行器件结构的电路等效，绘制等效电路图；绘制环形元胞圈数和与其对应的器件比导通电阻值间的关系曲线；确定合理的功率并联单元尺寸、形状；对功率并联单元进行并联连接和重复，获得所述器件的版图结构布局。使用该方法设计所述功率器件时，可对器件的比导通电阻进行有效控制，节省器件面积，是一种比同类器件制造结构的现有设计方法具有设计性能更好、更经济的大电流功率器件制造结构设计方法。