公开/公告号CN106575629B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社神户制钢所;
申请/专利号CN201580035431.4
申请日2015-07-06
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张玉玲
地址 日本兵库县
入库时间 2022-08-23 10:32:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-14
授权
授权
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20150706
实质审查的生效
2017-05-17
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20150706
实质审查的生效
2017-04-19
公开
公开
2017-04-19
公开
公开
机译: 氧化物半导体薄膜,在氧化物半导体薄膜的表面具有保护膜的层叠体的品质评价方法以及氧化物半导体薄膜的品质控制方法
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置
机译: 氧化物半导体薄膜品质的评价方法,氧化物半导体薄膜品质的管理方法以及使用上述方法进行质量管理的半导体制造装置